期刊名稱：	微處理機
	期刊級別：	核心期刊
	國內(nèi)統(tǒng)一刊號：	21-1216/TP
	國際標準刊號：	1002-2279
	期刊周期：	雙月刊
	主管單位：	工業(yè)和信息化部
	主辦單位：	中國電子科技集團公司第四十七研究所
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　　《微處理機》期刊簡介

　　• 期刊信息：《微處理機》Microprocessors(雙月刊)1979年創(chuàng)刊，是一本集學術(shù)性、技術(shù)性、實用性和情報性于一體的全國性技術(shù)刊物。主要刊載國內(nèi)外最新的各種微處理器、微控制器、微機外圍電路和專用集成電路的發(fā)展動態(tài)、設(shè)計、測試、新工藝、開發(fā)與應用，以及微機系統(tǒng)與微機軟件的開發(fā)等方面的科技論文。本刊將優(yōu)先發(fā)表各種基金資助項目的研究成果。《微處理機》主管單位：工業(yè)和信息化部，主辦單位：中國電子科技集團公司第四十七研究所，國內(nèi)統(tǒng)一刊號：21-1216/TP，國際標準刊號：1002-2279

　　• 期刊欄目：綜述與評論、在規(guī)模集成電路設(shè)計、制造與應用、微機網(wǎng)絡(luò)、微機軟件、微機應用、經(jīng)驗介紹。

　　• 數(shù)據(jù)庫收錄情況：國家新聞出版總署收錄　維普網(wǎng)、萬方數(shù)據(jù)庫、知網(wǎng)數(shù)據(jù)庫收錄
　
　　• 辦刊宗旨：《微處理機》以馬列主義、毛澤東思想、鄧小平理論和“三個代表”重要思想為指導，全面貫徹黨的教育方針和“雙百方針”，理論聯(lián)系實際，開展教育科學研究和學科基礎(chǔ)理論研究，交流科技成果，促進學院教學、科研工作的發(fā)展，為教育改革和社會主義現(xiàn)代化建設(shè)做出貢獻。

　　• 影響因子：截止2014年萬方：影響因子：0.294;總被引頻次：381

　　截止2014年知網(wǎng)：復合影響因子：0.427;綜合影響因子：0.215

　　•《微處理機》雜志近期論文投稿目錄：

　　FD-SOI的優(yōu)點及在中國發(fā)展的機遇………………………………劉忠立 趙凱

　　雙極IC接觸電阻改善研究………………………………趙鋁虎 闞志國

　　一種汽車發(fā)電機多功能電子調(diào)節(jié)器芯片設(shè)計………………………………高興龍 張曉民 揣榮巖

　　一種串行EEPROM控制器IP設(shè)計………………………………崔艾東 任志偉 嚴明

　　RTL代碼和R2G流程之間的內(nèi)在聯(lián)系………………………………牛英山

　　集成電路芯片合金燒結(jié)工藝FMEA應用分析………………………………劉洪濤

　　基于Modbus/Tcp的水下航行體通信軟件實現(xiàn)………………………………時慧晶

　　Mil-1394B總線網(wǎng)絡(luò)的確定性分析………………………………安百俊 呂冰 李新民

　　利用遺傳算法實現(xiàn)基于多目標約束的網(wǎng)絡(luò)規(guī)劃………………………………陳柯君 王宏亮 李東生

　　基于Eclipse的嵌入式集成開發(fā)環(huán)境工程管理………………………………田丹 林卓 衛(wèi)進

　　動態(tài)鏈表在功率試驗系統(tǒng)軟件設(shè)計中的應用………………………………霍可 李云紅 周靜雷 拓小明 曹瀏

　　基于碼書映射的語音轉(zhuǎn)換算法改進………………………………胡芳 徐寧 李海燕

　　基于信息熵的復雜網(wǎng)絡(luò)社團發(fā)現(xiàn)算法研究………………………………張偉崗

　　諧振式壓力傳感器頻率測量算法研究………………………………張帥 王延年 邢雷

　　基于MySQL的小型數(shù)據(jù)庫管理工具實現(xiàn)………………………………張曉孿

　　嵌入式軟件仿真測試技術(shù)研究………………………………劉增明 劉晶晶

　　基于貪婪遺傳算法的井下線路規(guī)劃研究………………………………王啟明 甘泉

　　論文范文參考：雙極IC接觸電阻改善研究

　　引言隨著半導體集成電路技術(shù)的發(fā)展,器件集成度越來越高,特征線寬越來越小。作為集成電路家族中的雙極集成電路,也在不斷發(fā)展,其加工線寬也越來越小。筆者所在的生產(chǎn)線,主要就是生產(chǎn)雙極集成電路,在實際加工中,會出現(xiàn)一定比例的接觸電阻異常而導致的失效。雙極集成電路,其金屬層與硅之間的接觸屬于Al Si與P+,n+型Si歐姆接觸[1],但是受工藝控制以及環(huán)境和設(shè)備因素波動的影響,在規(guī)模生產(chǎn)中出現(xiàn)接觸電阻異常的問題,除直接影響器件的穩(wěn)定性外,還影響整機產(chǎn)品的可靠性。2現(xiàn)象以及原因分析這種雙極集成電路的接觸電阻異常問題在批量生產(chǎn)中不定期出現(xiàn),沒有規(guī)律可言。從月度數(shù)據(jù)來看,產(chǎn)生的批次基本在3-5%。經(jīng)測試發(fā)現(xiàn),集成電路的P+,n+型接觸電阻存在異常,其中P+型接觸電阻異常最為典型。圖1就是其中某型號雙極集成電路的P型接觸電阻數(shù)據(jù),根據(jù)設(shè)計規(guī)則,小于10KΩ算是正常,而最大甚至達到35KΩ以上。對于此類現(xiàn)象,生產(chǎn)線也做過非常多的工藝驗證來解決P型接觸電阻過大的問題,例如:接觸孔過刻蝕量的拉偏;氮氫合金溫度與時間的拉偏方案等。但是這些方案最后都沒有解決P型接觸電阻偏大的現(xiàn)象。